空（kōng）氣過濾器的選用：淨化空調係統根據大氣（qì）含塵濃度（dù）、大氣（qì）中各種汙染物濃度和產（chǎn）品生產工藝特點及要求配（pèi）置（zhì）各類空氣過濾器——粗（cū）效、中效、高中效、亞高效（xiào）和高效、超高效以及化學過濾器等。
具（jù）體淨化空調係統中空氣過濾器的配置和選用應根據潔淨室的空氣潔淨度等（děng）級和產品（pǐn）生產工藝的特殊（shū）要求（當工（gōng）藝無特殊（shū）要求時，一（yī）般都是（shì）按（àn）空氣潔淨（jìng）度等（děng）級配置）合理配置和選用，對於6級（1 000級）和比6級潔淨（jìng）度差的潔淨室的淨化（huà）空調（diào）係統通常采（cǎi）用三級空氣過濾，即粗效、中效和高效過濾器；粗效、中效（或中高效）過濾（lǜ）器，通常（cháng）設在空氣處理裝置(AHU)內，且將中效或中（zhōng）高效設在正壓段；高效或亞高效過濾器一般設在潔淨室（shì）內淨化空調係（xì）統的末端，也有（yǒu）將高效過濾器集中設（shè）在集中的空氣處（chù）理裝置（zhì）(AHU)內，但此時應對送風管道提出（chū）嚴格的清潔要求，以避免淨化後（hòu）的空氣被汙染。
對於5級（100級）和更（gèng）嚴格的潔（jié）淨室的淨化空調係統中空（kōng）氣過濾器（qì）的配置，應根據潔淨室的總體設計方案及采用的淨化空調（diào）係（xì）統的要求配置各類過（guò）濾器，比如有的集成（chéng）電路生產用4級(O.ltim)和（hé）更嚴要求的潔淨室采（cǎi）用新風集中處理，為了嚴格去除（chú）大氣中的微粒和各種汙染物，通常在新風處理裝置中設置粗效、中效（中高效（xiào））、亞高效甚至高效過（guò）濾器和化學過濾器或水噴淋裝置等；在潔淨室的（de）循環（huán）風係統還設有高效、超高效和化學過濾器等；有的集成電路生產用潔（jié）淨室還在生產過程的（de）某些生產區、生（shēng）產工序或工藝設備設（shè）微環境裝置，以確保產品生（shēng）產所需的（de）空氣潔淨度要求。
客服（fú）1